Methods for manufacture of self-aligned integrally gated nanofilament field emitter cell and array

   
   

The present invention discloses a new field emitter cell and array consisting of groups of nanofilaments forming emitter cathodes. Control gates are microprocessed to be integrally formed with groups of nanofilament emitter cathodes on a substrate. Groups of nanofilaments are grown directly on the substrate material. As a result, the control gates and groups of nanofilaments are self-aligned with one another.

Die anwesende Erfindung gibt ein neues auffangen Emitterzelle und kleiden das Bestehen aus Gruppen nanofilaments frei, die Emitterkathoden bilden. Steuergatter sind- microprocessed, mit Gruppen nanofilament Emitterkathoden auf einem Substrat integral gebildet zu werden. Gruppen nanofilaments werden direkt auf dem Substratmaterial gewachsen. Infolgedessen sind die Steuergatter und die Gruppen von nanofilaments miteinander Selbst-ausgerichtet.

 
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