The present invention provides a device for in-situ measurement and
recording of various environmental parameters in a semiconductor
fabrication process. The device comprises sensors for detecting the
parameters and converting them to sensor outputs; and a data logger
coupled to the sensors for receiving the sensor outputs and logging them
in a file. The device may also comprise an analog to digital converter to
convert the sensor outputs to digital data and a communication module to
communicate the digital data with other devices. When applied to reticles
used in a semiconductor fabrication process comprising a plurality of
stages, the device may be used to monitor electrostatic field and
electrostatic discharge activities on and around the reticle, convert the
monitored parameters into data, and log the data along with a timestamp
and an identification of each individual stage. Logged data can be
retrieved and analyzed to determine the time and location of detrimental
activities such as electrostatic discharge on reticles.
La présente invention fournit un dispositif pour la mesure et l'enregistrement in-situ de divers paramètres environnementaux dans un processus de fabrication de semi-conducteur. Le dispositif comporte des sondes pour détecter les paramètres et les convertir en sorties de sonde ; et un enregistreur de données couplé aux sondes pour recevoir les sorties de sonde et les noter dans un dossier. Le dispositif peut également comporter convertisseur à numérique analogue pour convertir les sorties de sonde en données numériques et module de communication pour communiquer les données numériques avec d'autres dispositifs. Une fois appliqué aux réticules utilisés dans un processus de fabrication de semi-conducteur comportant une pluralité des étapes, le dispositif peut être utilisé pour surveiller le champ électrostatique et les activités électrostatiques de décharge sur et autour du réticule, convertissent les paramètres surveillés en données, et notent les données avec un horodateur et une identification de chaque étape individuelle. Des données notées peuvent être recherchées et analysées pour déterminer la période et l'endroit des activités nuisibles telles que la décharge électrostatique sur des réticules.
