An optoelectronic gas sensor based on optodes, where multiple separate
photosensitive elements and an opto-transmitter located centrally between
them are integrated into or onto a semiconductor substrate is
characterized in that the photosensitive elements lie in one plane in the
substrate, and together with a lateral emission area of the
opto-transmitter emitting light laterally, they are covered by sections of
the optode material whose thickness and refractive index are selected so
that light emitted laterally from the emission area is guided to the
photosensitive elements by total reflection in the optode material in each
transmission branch. Such a chip-shaped gas sensor based on optodes can be
implemented in a very small design, e.g., in an area of 2.times.2 mm.sup.2
and a thickness of 250 .mu.m.
Een optoelectronic gassensor die op optodes wordt gebaseerd, waar de veelvoudige afzonderlijke fotogevoelige elementen en een opto-zender die centraal tussen hen wordt gevestigd geïntegreerd zijn in of op een halfgeleider het substraat wordt gekenmerkt in die zin dat de fotogevoelige elementen in één vliegtuig in het substraat liggen, en samen met een zijemissiegebied van de opto-zender die licht uitzendt lateraal, worden zij behandeld door secties van het optodemateriaal waarvan dikte en r i wordt geselecteerd zodat het licht dat lateraal van het emissiegebied wordt uitgezonden aan de fotogevoelige elementen door totale bezinning in het optodemateriaal in elke transmissietak wordt geleid. Een dergelijke spaander-vormige gassensor die op optodes wordt gebaseerd kan in een zeer klein ontwerp, b.v., in een gebied van 2.times.2 mm.sup.2 en een dikte van mu.m. worden uitgevoerd 250
