In accordance with the invention, a MEMs device comprises a component
layer, an actuator layer and an intervening spacer. The component layer,
the spacer and the actuator layer are assembled at ambient temperature and
held together in lateral alignment by resilient spring members. The spacer
provides the walls of a cavity between a component and an actuator to
permit movement of the component. The walls are advantageously conductive
and cover the bulk of the peripheral boundary of the cavity to provide
electrostatic isolation and aerodynamic isolation.
De acordo com a invenção, um dispositivo de MEMs compreende uma camada componente, uma camada do atuador e um espaçador de intervenção. A camada componente, o espaçador e a camada do atuador são montados na temperatura ambiental e mantidos junto no alinhamento lateral por membros resilient da mola. O espaçador fornece as paredes de uma cavidade entre um componente e um atuador ao movimento da licença do componente. As paredes são vantajosamente condutoras e cobrem o volume do limite periférico da cavidade para fornecer a isolação eletrostática e a isolação aerodinâmica.
