A method for fabricating field emission arrays employs a single mask to
define emitter tips, their corresponding resistors, and, optionally,
conductive lines. One or more material layers from which the emitter tips
and resistors will be defined are formed over and laterally adjacent
substantially parallel conductive lines. The exposed surface of the layer
or layers of emitter tip and resistor material or materials may be
planarized. The emitter tips and underlying resistors are then defined.
Substantially longitudinal center portions of the conductive lines may be
exposed between adjacent lines of emitter tips, with at least a lateral
edge portion of each conductive line being shielded by material that
remains following the formation of the emitter tips and resistors. The
exposed portions of the conductive lines may be removed in order to define
conductive traces. Field emission arrays and display devices fabricated by
such methods are also disclosed.
Een methode om de series van de gebiedsemissie te vervaardigen wendt één enkel masker aan om zenderuiteinden, hun overeenkomstige weerstanden, en, naar keuze, geleidende lijnen te bepalen. Één of meerdere materiële lagen waarvan de de zenderuiteinden en weerstanden zullen worden bepaald worden gevormd over en lateraal aangrenzende wezenlijk parallelle geleidende lijnen. De blootgestelde oppervlakte van de laag of de lagen van zenderuiteinde en weerstandsmateriaal of de materialen kan zijn planarized. De zenderuiteinden en de onderliggende weerstanden worden dan bepaald. De wezenlijk longitudinale centrumgedeelten geleidende lijnen kunnen tussen aangrenzende lijnen van zenderuiteinden, met minstens een zijrandgedeelte van elke geleidende lijn die worden blootgesteld door materiaal wordt beschermd dat na de vorming van de de zenderuiteinden en weerstanden blijft. De blootgestelde gedeelten geleidende lijnen kunnen worden verwijderd om geleidende sporen te bepalen. De de emissieseries van het gebied en de vertoningsapparaten die door dergelijke methodes worden vervaardigd worden ook onthuld.
