Disclosed is an ink-jet recording head improving relative positional
accuracy between a piezoelectric element and a pressure generating chamber
to improve ink ejection characteristics and stability thereof, capable of
arraying pressure generating chambers in high density, and reducing cross
talk between the pressure generating chambers. Moreover, disclosed are a
manufacturing method of the same and an ink-jet recording apparatus having
the ink-jet recording head built therein.
The ink-jet recording head comprises: a passage-forming substrate 10 having
a pressure generating chamber 11 formed therein, which communicates with a
nozzle orifice; and a piezoelectric element 300 formed of a thin film and
by a lithography method in a region corresponding to the pressure
generating chamber 11 via a vibration plate constituting a portion of the
pressure generating chamber 11. The ink-jet recording head is
characterized in that a space portion 41 communicating with the pressure
generating chamber 11 and having at least one surface constituted of the
vibration plate is provided in the region between the passage-forming
substrate 10 and the vibrating plate, the region being opposite the
pressure generating chamber 11, and at least a width of the pressure
generating chamber 11 close to the space portion 41, is set to be equal to
a width of the space portion 41 or less, thus relative positional accuracy
between the pressure generating chamber 11 and the piezoelectric element
300 is improved.
Wordt een ink-jet opname hoofd het verbeteren relatieve positionele nauwkeurigheid tussen een piezoelectric element onthuld en een druk die kamer produceren om de kenmerken en de stabiliteit van de inktuitwerping daarvan te verbeteren, geschikt om druk op te stellen die kamers in high-density produceren, en dwarsbespreking tussen de druk verminderen die kamers produceren. Voorts onthuld zijn een productiemethode van het zelfde en een ink-jet opnameapparaat dat het ink-jet daarin gebouwde opnamehoofd heeft. Het ink-jet opnamehoofd bestaat uit: zich daarin vormde een passage-zichvormend substraat 10 die een druk heeft die kamer 11 produceert, wat met een pijpopening communiceert; en een piezoelectric element 300 dat van een dunne film en door een lithografiemethode wordt gevormd in een gebied dat aan de druk beantwoordt die kamer 11 via een trillingsplaat produceert die een gedeelte van de druk vormt die kamer 11 produceert. Het ink-jet opnamehoofd wordt gekenmerkt in die zin dat een ruimtegedeelte 41 die met de druk communiceert die kamer 11 produceert en minstens één oppervlakte heeft die van de trillingsplaat wordt gevormd in het gebied tussen passage-zichvormend substraat 10 en de trillende plaat wordt verstrekt, het gebied tegenover de druk zijn die kamer 11 produceren, en minstens een breedte die van de druk die kamer 11 dicht bij ruimtegedeelte 41 produceren, om aan een breedte van ruimtegedeelte 41 of minder gelijk geplaatst te zijn, dus is de relatieve positionele nauwkeurigheid tussen de druk die kamer 11 en piezoelectric element 300 produceren beter.
