A spectral ellipsometer includes a light incident optical system for
focusing a incidence spot of polarized light of multi-wavelengths onto a
sample surface. A detecting optical system receives the reflected light
influenced by the sample surface so that the amount of change in an
elliptical polarization will be characteristic of the sample surface. A
spherical prism polarizer is employed in the light incident optical system
having complimentary curved light incident and light exit surfaces to
enable the focusing of the incident light so that each of the ray traces
of the range of wavelengths are focused at the same position on the sample
surface.
Ένα φασματικό ellipsometer περιλαμβάνει ένα ελαφρύ συναφές οπτικό σύστημα για ένα σημείο επίπτωσης του πολωμένου φωτός των πολυ-μηκών κύματος επάνω σε μια επιφάνεια δειγμάτων. Ένα οπτικό σύστημα ανίχνευσης λαμβάνει το απεικονισμένο φως που επηρεάζεται από την επιφάνεια δειγμάτων έτσι ώστε το ποσό αλλαγής σε μια ελλειπτική πόλωση θα είναι χαρακτηριστικό της επιφάνειας δειγμάτων. Ένας σφαιρικός πολωτής πρισμάτων υιοθετείται στο ελαφρύ συναφές οπτικό σύστημα που έχει τις φιλοφρονητικές κυρτές ελαφριές συναφείς και ελαφριές επιφάνειες εξόδων για να επιτρέψει την εστίαση του συναφούς φωτός έτσι ώστε κάθε ένα από τα ίχνη ακτίνων της σειράς των μηκών κύματος στρέφεται στην ίδια θέση στην επιφάνεια δειγμάτων.
