A method for controlling the gas flow within a digital mass flow
controller. The method calculates a digitally enhanced flow rate signal
that more accurately represents an actual flow rate through the digital
mass flow controller. The digitally enhanced flow rate is calculated using
a sensed flow rate signal output from a flow sensor, a scaled first
derivative of the sensed flow rate signal, and a scaled, filtered second
derivative of the sensed flow rate signal. A set-point signal is compared
to the digitally enhanced flow rate signal to generate a digital error
signal. The digital error signal is provided to a digitally realized PI
(proportional integral) controller. The PI controller generates a digital
control signal which is used to control a valve in the digital mass flow
controller.
Un método para controlar el flujo del gas dentro de un regulador digital del flujo total. El método calcula una señal digital realzada del caudal que represente más exactamente un caudal real a través del regulador digital del flujo total. Se calcula el caudal digital realzado usando una señal detectada del caudal hecha salir de un sensor de flujo, de un primer derivado escalado de la señal detectada del caudal, y de un segundo derivado escalado, filtrado de la señal detectada del caudal. Una señal set-point se compara a la señal digital realzada del caudal de generar una señal digital del error. La señal digital del error se proporciona a un regulador digital observado del pi (integral proporcional). El regulador del pi genera una señal del control numérico que se utilice para controlar una válvula en el regulador digital del flujo total.
