A method for controlling a process includes processing a first workpiece in
a first process tool. An output characteristic of the first workpiece is
measured. A second workpiece is processed in the first process tool. A
tool health metric is determined for the first process tool corresponding
to the processing of the second workpiece. A control action is determined
based on the measured output characteristic and the tool health metric.
Um método para controlar um processo inclui processar um primeiro workpiece em uma primeira ferramenta do processo. Uma característica de saída do primeiro workpiece é medida. Um segundo workpiece é processado na primeira ferramenta do processo. Uma saúde da ferramenta métrica é determinada para a primeira ferramenta do processo que corresponde a processar do segundo workpiece. Uma ação do controle é determinada baseou na característica de saída medida e na saúde da ferramenta métricas.
