A method and apparatus evaluates the runability of a photomask inspection
tool that inspects plural sets of die, each die having a standard
simulated industrial device feature at plural technology nodes. A
technology node size is determined for each feature at which inspection by
the tool provides no false detection of faults. A sensitivity module
included on a photomask test plate along with a runability module allows
determination of inspection tool sensitivity and runability in a single
test sequence.
Μια μέθοδος και μια συσκευή αξιολογούν το runability ενός εργαλείου επιθεώρησης photomask που επιθεωρεί τα σύνολα πληθυντικού κύβου, κάθε κύβος που έχει ένα μιμούμενο πρότυπα βιομηχανικό χαρακτηριστικό γνώρισμα συσκευών στους κόμβους τεχνολογίας πληθυντικού. Ένα μέγεθος κόμβων τεχνολογίας καθορίζεται για κάθε χαρακτηριστικό γνώρισμα στο οποίο η επιθεώρηση από το εργαλείο δεν παρέχει καμία ψεύτικη ανίχνευση των ελαττωμάτων. Μια ενότητα ευαισθησίας που περιλαμβάνεται σε ένα πιάτο δοκιμής photomask μαζί με μια ενότητα runability επιτρέπει τον προσδιορισμό της ευαισθησίας και του runability εργαλείων επιθεώρησης σε μια ενιαία ακολουθία δοκιμής.
