The integrity of control signals used to control a wafer handling robot is
monitored by a monitor connected to various points of the robotic control
system. The monitor includes a memory for storing data sets representing
correct, reference characteristics of the control signals. The monitor
samples control signals at various points in the control system and
compares these sampled signals with the stored reference characteristics
in order to determine whether a signal disparity exists. If a disparity
exists, the monitor generates an error.
A integridade dos sinais de controle usados controlar um wafer que segura o robô é monitorada por um monitor conectado aos vários pontos do sistema de controle robotic. O monitor inclui uma memória para armazenar a representação correta, características das séries de dados de da referência dos sinais de controle. O monitor prova sinais de controle em vários pontos no sistema de controle e compara estes sinais provados com as características armazenadas da referência a fim determinar se um disparity do sinal existe. Se um disparity existir, o monitor gera um erro.
