In accordance with one embodiment of the present invention, the ion-beam
apparatus takes the form of a gridless ion source with a hot-filament
cathode-neutralizer, in which the hot filament is heated with a current
from the cathode-neutralizer heater. The cathode-neutralizer is connected
to the negative terminal of the discharge supply for the gridless ion
source. This connection is substantially isolated from ground (the
potential of the surrounding vacuum chamber, which is usually at earth
ground) and its potential is measured relative to ground. The heater
current to the cathode-neutralizer is controlled by adjusting it so as to
maintain this potential in a narrow operating range. This control can be
manual or automatic.
De acordo com uma incorporação da invenção atual, o instrumento do ion-beam faz exame do formulário de uma fonte gridless do íon com um cátodo-cathode-neutralizer do quente-filamento, em que o filamento quente é aquecido com uma corrente do calefator do cátodo-cathode-neutralizer. O cátodo-cathode-neutralizer é conectado ao terminal negativo da fonte da descarga para a fonte gridless do íon. Esta conexão é isolada substancialmente da terra (o potencial da câmara circunvizinha do vácuo, que está geralmente na terra moída) e seu potencial é medido relativo à terra. A corrente do calefator ao cátodo-cathode-neutralizer é controlada ajustando o para manter este potencial em uma escala operando-se estreita. Este controle pode ser manual ou automático.
