Provided is an electrostatic sensing chuck for attracting particles to a
portion of a particle contact surface near a deposition electrode, the
electrostatic sensing chuck comprising a pixel comprising: a deposition
electrode (DE) for selectively establishing an attraction field (E.sub.a)
at the particle contact surface; a shield electrode (SE) oppositely biased
with respect to the deposition electrode; a charge sensing circuit to
measure charge accumulated on each of the deposition electrode and the
shield electrode, wherein the charge sensing circuit subtracts a second
charge it senses at the shield electrode from a first charge it senses at
the deposition electrode, thereby determining accumulated charge at the
deposition electrode balanced by accumulated charge at the shield
electrode.
Se è un mandrino percepire elettrostatico per attrarre le particelle ad una parte di una superficie di contatto della particella vicino ad un elettrodo di deposito, il mandrino di rilevamento elettrostatico che contiene contenere del pixel: un elettrodo di deposito (DE) per selettivamente la stabilizzazione del campo dell'attrazione (E.sub.a) alla superficie di contatto della particella; un elettrodo dello schermo (Se) in modo opposto influenzato riguardo all'elettrodo di deposito; un circuito di rilevamento della carica alla carica di misura si è accumulato su ciascuno dell'elettrodo di deposito e l'elettrodo dello schermo, in cui il circuito di rilevamento della carica sottrae una seconda carica esso sensi all'elettrodo dello schermo da una prima carica esso sensi all'elettrodo di deposito, quindi determinante la carica accumulata all'elettrodo di deposito ha equilibrato dalla carica accumulata all'elettrodo dello schermo.
