A system and method for processing a workpiece, includes workpiece
processors. A robot is moveable within an enclosure to load and unload
workpieces into and out of the processors. A processor includes an upper
rotor having a central air flow opening. The upper rotor is magnetically
driven into engagement with a lower rotor to form a workpiece processing
chamber. A moveable drain mechanism aligns different drain paths with the
processing chamber so that different processing fluids may be removed
from the processing chamber via different drain paths. A moveable nozzle
positioned in the air flow opening distributes processing fluid to the
workpiece. The processing fluid is distributed across the workpiece
surface, via centrifugal force generated by spinning the processing
chamber, and removed from the processing chamber via the moveable drain
mechanism.
Um sistema e um método para processar um workpiece, incluem processadores do workpiece. Um robô é móvel dentro de um cerco carregar e descarregar workpieces e fora dos processadores. Um processador inclui um rotor superior que tem uma abertura central do fluxo de ar. O rotor superior é dirigido magnètica no acoplamento com um rotor mais baixo para dar forma a um workpiece que processa a câmara. Um mecanismo móvel do dreno alinha trajetos diferentes do dreno com a câmara processando de modo que os líquidos processando diferentes possam ser removidos da câmara processando através dos trajetos diferentes do dreno. Um bocal móvel posicionado na abertura do fluxo de ar distribui processar o líquido ao workpiece. O líquido processando é distribuído através da superfície do workpiece, através da força centrífuga gerada girando a câmara processando, e removida da câmara processando através do mecanismo móvel do dreno.
