An organic compound of a noble metal is dissolved in an alcohol to make a
coating agent wherein the electrode material configuring a lower electrode
is liquefied. On the surface of a substrate 1, the coating agent is
applied by spin coating to a thickness of 100 to 1000 .ANG. or so. Heating
is performed, using a drying apparatus such as a hot plate or oven to a
temperature of 400 to 600.degree. C., and the halogen and organic solvent
are evaporated. Even then there is foreign matter 5 underneath, a lower
electrode 2 is formed having a flattened surface. On the surface of the
lower electrode 2 are formed PZT and an upper electrode 4. Heat treatment
is then performed in an oxidizing atmosphere at a high temperature of 650
to 850.degree. C. or so. The ferroelectric material is subjected to
crystallization. A lower electrode of a ferroelectric layer having a flat
surface is formed.
Un residuo organico di un metallo nobile è dissolto in un alcool per fare un agente ricoprente in cui il materiale dell'elettrodo che configura un elettrodo più basso è liquefatto. Sulla superficie di un substrato 1, l'agente ricoprente è applicato dalla rotazione che ricopre ad uno spessore di ANG 100 - 1000. o così. Il heating è effettuato, per mezzo di un apparecchio di secchezza quali una piastra o un forno calda ad una temperatura di 400 a 600.degree. Il C. ed il solvente organico e dell'alogeno sono volatilizzati. Anche allora ci è sostanza estranea 5 sotto, un elettrodo più basso 2 è formato avendo una superficie appiattita. Sulla superficie dell'elettrodo più basso 2 sono PZT formati e un elettrodo superiore 4. Il trattamento termico allora è realizzato in un atmosfera d'ossidazione ad una temperatura elevata di 650 a 850.degree. C. o così. Il materiale ferroelectric è sottoposto a cristallizzazione. Un elettrodo più basso di uno strato ferroelectric che ha una superficie piana è formato.
