Piezoelectric element and process for production thereof

   
   

A piezoelectric element includes a ceramic substrate, a piezoelectric portion made of a piezoelectric ceramic composition containing a PbMg.sub.1/3 Nb.sub.2/3 O.sub.3 --PbZrO.sub.3 --PbTiO.sub.3 ternary system solid solution composition having an average particle diameter of 1-10 .mu.m with a maximum particle diameter being not more than 5 times as large as the average particle diameter including the chemical formula discussed below as a main component and the piezoelectric and the piezoelectric ceramic composition includes 0.05 to 10.0 mass % of NiO. An electrode is electrically connected to the piezoelectric portion, and the piezoelectric portion is solidly attached to the ceramic substrate directly or via the electrode. The piezoelectric ceramic composition is represented by the following general formula: Pb.sub.x (Mg.sub.y/3 Nb.sub.2/3).sub.a Ti.sub.b Zr.sub.c O.sub.3, wherein 0.95.ltoreq.x.ltoreq.1.05; 0.8.ltoreq.y.ltoreq.1.0; a, b and c are decimals falling in a range surrounded by (a,b,c)=(0.550, 0.425, 0.025), (0.550, 0.325, 0.125), (0.375, 0.325, 0.300), (0.100, 0.425, 0.475), (0.100, 0.475, 0.425) and (0.375, 0.425, 0.200) in the coordinates with coordinate axes of the a, b and c, and a-b+c=1.00.

Ένα πιεζοηλεκτρικό στοιχείο περιλαμβάνει ένα κεραμικό υπόστρωμα, μια πιεζοηλεκτρική μερίδα φιαγμένη από πιεζοηλεκτρική κεραμική σύνθεση που περιέχει ένα PbMg.sub.1/3 Nb.sub.2/3 O.sub.3 -- PbZrO.sub.3 -- τριαδική σύνθεση λύσης συστημάτων PbTiO.sub.3 στερεά που έχει μια μέση διάμετρο μορίων 1-10 μu.μ με μια μέγιστη διάμετρο μορίων που είναι όχι περισσότερες από 5 φορές μεγαλύτερες από το μέσο μόριο η διάμετρος συμπεριλαμβανομένου του χημικού τύπου που συζητείται κατωτέρω ως κύριο συστατικό και πιεζοηλεκτρική και πιεζοηλεκτρική κεραμική σύνθεση περιλαμβάνει 0,05 έως 10,0 mass% NiO. Ένα ηλεκτρόδιο συνδέεται ηλεκτρικά με την πιεζοηλεκτρική μερίδα, και η πιεζοηλεκτρική μερίδα είναι στερεά συνημμένη με το κεραμικό υπόστρωμα άμεσα ή μέσω του ηλεκτροδίου. Η πιεζοηλεκτρική κεραμική σύνθεση αντιπροσωπεύεται από τον ακόλουθο γενικό τύπο: Pb.sub.x (Mg.sub.y/3 Nb.sub.2/3).sub.a Ti.sub.b Zr.sub.c O.sub.3, όπου 0.95.ltoreq.x.ltoreq.1.05 0.8.ltoreq.y.ltoreq.1.0 το α, το β και το γ είναι δεκαδικά που εμπίπτουν σε μια σειρά που περιβάλλεται κοντά (α, β, c)=(0.550, 0,425, 0.025), (0,550, 0,325, 0.125), (0,375, 0,325, 0.300), (0,100, 0,425, 0.475), (0,100, 0,475, 0.425) και (0,375, 0,425, 0.200) στις συντεταγμένες με τους ισότιμους άξονες του α, του β και του γ, και του α- b+c=1.00.

 
Web www.patentalert.com

< Simple object access protocol

< Motor-driven system with stator provided with inductors

> Metal plate coated with lubricating resin and drilling processing method of printed wiring board use thereof

> Exposure method and apparatus, and method of fabricating a device

~ 00111