A MEMS (Micro Electro Mechanical System) electrostatically operated high
voltage switch or relay device is provided. These devices can switch high
voltages while using relatively low electrostatic operating voltages. The
MEMS device comprises a substrate, a substrate electrode, and one or more
substrate contacts. The MEMS device also includes a flexible composite
overlying the substrate, one or more composite contacts, and at least one
insulator. The switch or relay device is provided overdrive potential
through protrusions on the contact surface of the switch or relay
contacts. In one embodiment the substrate contacts define protrusions on
the contact surface that extend toward the flexible composite contacts. In
another embodiment the flexible composite contacts define protrusions on
the contact surface that extend toward the substrate contacts.
Eine MEMS (Mikroelectro-mechanisches System) elektrostatisch bearbeitete Hochspannungsschalter- oder Relaisvorrichtung wird zur Verfügung gestellt. Diese Vorrichtungen können hohe Spannungen beim Verwenden der verhältnismäßig niedrigen elektrostatischen funktionierenden Spannungen schalten. Die MEMS Vorrichtung enthält ein Substrat, eine Substratelektrode und einen oder mehr Substratkontakte. Die MEMS Vorrichtung schließt auch eine flexible Zusammensetzung ein, die das Substrat, der einen oder mehr zusammengesetzten Kontakte und mindestens eine Isolierung überlagert. Die Schalter- oder Relaisvorrichtung ist zur Verfügung gestelltes Schnellgangpotential durch Vorwölbungen auf der Kontaktfläche der Schalter- oder Relaiskontakte. In einer Verkörperung definieren die Substratkontakte Vorwölbungen auf der Kontaktfläche, die in Richtung zu den flexiblen zusammengesetzten Kontakten verlängern. In einer anderen Verkörperung definieren die flexiblen zusammengesetzten Kontakte Vorwölbungen auf der Kontaktfläche, die in Richtung zu den Substratkontakten verlängern.
