A moveable micromirror includes a supporting structure, a flexible post
extending from the supporting structure, and a table extending radially
from the end of the post along a plane generally perpendicular to the
post, the table having a reflective surface facing away from the
supporting structure. The post, preferably formed of single-crystal
silicon, is dimensioned to be sufficiently flexible to allow the
reflective surface to be selectively moveable and positionable, with at
least two degrees of freedom, when urged by a suitable actuating force. A
method of making an array of moveable micromirrors of this type includes
deep etching a silicon substrate so as to form posts surrounded by
trenches, etching back the surface of the substrate around the posts so as
to allow the posts to protrude beyond the surface of the substrate, and
affixing a table with a reflective surface thereon to the tops of a
plurality of the posts.
Un micromirror mobile inclut une structure porteuse, un poteau flexible s'étendant de la structure porteuse, et une table se prolongeant radialement de l'extrémité du poteau le long d'un avion généralement perpendiculaire au poteau, la table ayant les revêtements extérieurs r3fléchissants loin de la structure porteuse. Le poteau, de préférence constitué du silicium de simple-cristal, est dimensionné pour être suffisamment flexible pour permettre à la surface r3fléchissante d'être sélectivement mobile et positionable, avec au moins deux degrés de liberté, une fois recommandé par une force de déclenchement appropriée. Une méthode de la fabrication d'une rangée des micromirrors mobiles de ce type inclut gravure à l'eau-forte profonde un substrat de silicium afin de former des poteaux ait entouré par les fossés, le dos gravure à l'eau-forte la surface du substrat autour des poteaux afin de permettre aux poteaux de dépasser au delà de la surface du substrat, et d'apposer une table avec une surface r3fléchissante là-dessus jusqu aux dessus d'une pluralité des poteaux.
