A counterbalanced actuator for steering a beam of light is disclosed. The
actuator includes a rotatable actuator member coupled to a substrate, a
movable portion of an actuator drive mechanism coupled to the rotatable
actuator member, a balancing spring coupled between the substrate and the
movable portion of the actuator drive mechanism, and an actuator arm
operably coupled to the movable portion of the actuator drive mechanism.
The balancing spring maintains the movable portion of the actuator drive
mechanism nominally, parallel to the substrate when the actuator arm is
rotated. An optical mirror element is coupled to the actuator arm. The
actuator also includes apparatus for applying a first drive voltage to the
movable portion of the actuator drive mechanism and a second drive voltage
to a fixed portion of the actuator drive mechanism to position the mirror.
Also disclosed is an optical subassembly for directing at least one beam
of light including a plurality of micromirror assemblies on a substrate,
where each micromirror assembly includes an optical mirror coupled to a
plurality of counterbalanced actuators attached to the substrate. A method
of actuating a micromirror assembly and a system for actuation the
micromirror assembly is also disclosed.
Um atuador contrabalançado para dirigir um feixe de luz é divulgado. O atuador inclui um membro rotatable do atuador acoplado a uma carcaça, uma parcela móvel de um mecanismo de movimentação do atuador acoplado ao membro rotatable do atuador, uma mola balançando acoplada entre a carcaça e a parcela móvel do mecanismo de movimentação do atuador, e um braço de atuador acoplado operably à parcela móvel do mecanismo de movimentação do atuador. A mola balançando mantem a parcela móvel do mecanismo de movimentação do atuador nominal, paralela à carcaça quando o braço de atuador é girado. Um elemento ótico do espelho é acoplado ao braço de atuador. O atuador inclui também o instrumento para aplicar uma primeira tensão da movimentação à parcela móvel do mecanismo de movimentação do atuador e uma segunda tensão da movimentação a uma parcela fixa do mecanismo de movimentação do atuador para posicionar o espelho. É divulgado também um subconjunto ótico para dirigir ao menos um feixe de luz including um plurality dos conjuntos do micromirror em uma carcaça, onde cada conjunto do micromirror inclua um espelho ótico acoplado a um plurality dos atuadores contrabalançados unidos à carcaça. Um método de atuar um conjunto do micromirror e um sistema para a atuação o conjunto do micromirror é divulgado também.
