Shortening TAT for processing express lots without reducing the utilization
rate of manufacturing apparatuses for semiconductor device. When the
number of vacant ports LPOT of a manufacturing apparatus EQ3 used in a
next step is only one at the of time of completing a process for a normal
lot LA by a manufacturing apparatus EQ1 and when there is a possibility
that processes for an express lot LB performed by a manufacturing
apparatus EQ2 will be completed before a remaining processing time period
for a lot LC performed by the manufacturing apparatus EQ3 reaches a
predetermined set value, the lot LA is transferred to a lot stocker LS for
securing a vacant port LPOT and as soon as the processes for the express
lot LB performed by the manufacturing apparatus EQ2 are completed, the
express lot LB is transferred to the vacant port LPOT in the manufacturing
apparatus EQ3.
Het verkorten TAT voor verwerkings uitdrukkelijke partijen zonder de bezettingsgraad te verlagen om apparaten voor halfgeleiderapparaat te vervaardigen. Wanneer het aantal lege havens LPOT van een productieapparaat EQ3 dat in een volgende stap wordt gebruikt slechts één bij van tijd van de voltooiing van een proces voor normaal partijLa door een productieapparaat EQ1 is en wanneer er een mogelijkheid is dat de processen voor een uitdrukkelijke partij pond die door een productieapparaat EQ2 wordt uitgevoerd zullen worden voltooid alvorens een resterende verwerkingstijdspanne voor LC die door de productieapparaten EQ3 wordt uitgevoerd een een vooraf bepaalde vastgestelde waarde bereikt, wordt partijLa overgebracht naar een stocker LS voor het beveiligen van een lege haven LPOT en zodra de processen voor de uitdrukkelijke partij pond die door de productieapparaten EQ2 wordt uitgevoerd, de uitdrukkelijke partij worden voltooid wordt overgebracht naar de lege haven LPOT in de productieapparaten EQ3.
