A spatial light modulator having a micromirror and one or more deflection
limiting mechanisms, and a process for fabrication therefor. In one
embodiment, the mirror support structure has a deflection stopping
mechanism that limits the tilt angle of the reflective plate.
Alternatively, a deflection stopping mechanism can be provided separate
from the mirror support structure. The deflection stopping mechanism can
be used in conjunction with one or more additional stopping mechanisms
such as the abutment of a portion of the reflective plate against the
substrate upon which it was constructed and/or abutment of the micromirror
on a surface or structure of the circuit substrate.
Un modulador ligero espacial que tiene un micromirror y un o más desviación que limita mecanismos, y un proceso para la fabricación por consiguiente. En una encarnación, la estructura de la ayuda del espejo tiene una desviación el parar del mecanismo que limita el ángulo de la inclinación de la placa reflexiva. Alternativomente, una desviación que para el mecanismo se puede proporcionar a parte de la estructura de la ayuda del espejo. La desviación que para el mecanismo se puede utilizar conjuntamente con unos o más mecanismos que paran adicionales tales como el estribo de una porción de la placa reflexiva contra el substrato sobre el cual fue construida y/o estribo del micromirror en una superficie o una estructura del substrato del circuito.
