A method for determining the relative motion of a surface with respect to a
measurement device including placing a partially transmitting object,
which is part of the measuring device, adjacent to the surface;
illuminating the surface with incident illumination, which does not
constitute an interference pattern, such that the illumination is
reflected from portions of the surface, wherein at least part of at least
one of the incident and reflected illumination passes through the object;
detecting the illumination reflected from the surface, and generating a
detected signal; and determining the relative motion of the surface
parallel to the surface, from the detected signal.
Een methode om de relatieve motie van een oppervlakte met betrekking tot een metingsapparaat te bepalen met inbegrip van het plaatsen van een gedeeltelijk overbrengend voorwerp, dat deel van het meetinstrument, naast de oppervlakte uitmaakt; verlichtend de oppervlakte met inherente verlichting, die geen interferentiepatroon vormt, dusdanig dat de verlichting van gedeelten van de oppervlakte wordt weerspiegeld, waarin minstens een deel van minstens één van de inherente en weerspiegelde verlichtingspassen door het voorwerp; het ontdekken van de verlichting die van de oppervlakte wordt weerspiegeld, en het produceren van een ontdekt signaal; en bepalend de relatieve motie van de oppervlakte parallel met de oppervlakte, van het ontdekte signaal.
