An ellipsometer for aligning incident angle comprising: a main frame
shaping half circle and flat surface on which a plurality of grooves are
radial and circumferential directionally carved; a specimen stage, which
is installed at the groove-caved surface of the main frame, for tilting a
specimen on a upper surface of the specimen stage with respect to
horizontal direction and translating the specimen upward and downward; a
polarizing unit, which is capable of fixing and moving on the
groove-carved surface of the main frame, for polarizing a light from a
light source and outputting the polarized light to the specimen, and
moving on the groove-carved surface; and a light detecting unit, which is
capable of fixing and moving on the groove-carved surface, for a
reflection light from the specimen.
Ellipsometer для выравнивая угла случая состоя из: большая ЭВМ формируя половинный круг и плоская поверхность на дирекционно высеканная множественность пазов радиальная и окружная; этап образца, который установлен на паз-podzemel6 поверхность большой ЭВМ, для опрокидывать образец на верхнюю поверхность этапа образца по отношению к горизонтальному направлению и переводить образец вверх и вниз; поляризовывая блок, который способен отладки и двигать на паз-vysekannuh поверхность большой ЭВМ, для поляризовывать свет от источника света и вывидить наружу поляризовыванный свет к образцу, и двигать на паз-vysekannuh поверхность; и светлый обнаруживая блок, который способен отладки и двигать на паз-vysekannuh поверхность, для света отражения от образца.
