A wide-area nano-size imprinting stamp is disclosed. The wide-area
nano-size imprinting stamp includes a substrate having a base surface upon
which is formed a plurality of micro-features. Each micro-feature includes
a plurality of spacers disposed on opposed side surfaces thereof. The
spacers extend laterally outward of the opposed side surfaces and the
micro-features and the spacers extend outward of the base surface. The
micro-features and the spacers are selectively etched to differing heights
to define an imprint stamp having an imprint profile. The imprint stamps
can be formed on substantially all of a useable area of the substrate and
can have complex shapes that vary among the imprint stamps. The imprint
stamps can be used as a template for transferring the imprint profile to a
mask layer in which the imprint profile will be replicated.
Un nano-tamaño del ancho-a'rea que imprime la estampilla se divulga. El nano-tamaño del ancho-a'rea que imprime la estampilla incluye un substrato que tiene una superficie baja sobre la cual se forme una pluralidad de micro-caracteri'sticas. Cada micro-caracteri'stica incluye una pluralidad de espaciadores dispuestos en superficies laterales opuestas de eso. Los espaciadores extienden lateralmente hacia fuera de las superficies laterales opuestas y las micro-caracteri'sticas y los espaciadores extienden hacia fuera de la superficie baja. Las micro-caracteri'sticas y los espaciadores se graban al agua fuerte selectivamente a las alturas que diferencian para definir una estampilla de la impresión que tiene un perfil de la impresión. Las estampillas de la impresión se pueden formar en substancialmente toda la área usable del substrato y pueden tener formas complejas que varíen entre las estampillas de la impresión. Las estampillas de la impresión se pueden utilizar como plantilla para transferir el perfil de la impresión a una capa de la máscara en la cual el perfil de la impresión sea replegado.
