An electrostatic drive having a plurality of mover electrodes operatively
secured to a mover, and a plurality of stator electrodes operatively
secured to a stator. The mover and stator are configured to move relative
to each other via electrostatic force generated between the mover
electrodes and the stator electrodes. The electrostatic drive includes a
driver configured to place the stator electrodes in any of a number of
sequential voltage states, each being defined by a combination of LO and
HI voltage levels at the individual stator electrodes. Transition from one
voltage state to a sequentially adjacent voltage state produces a step
size of relative movement between the mover and stator. For each of the
sequential voltage states, the driver is further configured to selectively
vary voltage applied at one of the stator electrodes to an amount between
the LO and the HI voltage levels, in order to produce a proportionally
smaller step size.
Ein elektrostatischer Antrieb, der eine Mehrzahl der Urheberelektroden wirksam befestigt an einen Urheber haben, und eine Mehrzahl der Statorelektroden wirksam befestigt an einen Stator. Der Urheber und der Stator werden zusammengebaut, um im Verhältnis zu einander über die elektrostatische Kraft zu bewegen, die zwischen den Urheberelektroden und den Statorelektroden erzeugt wird. Der elektrostatische Antrieb schließt einen Treiber mit ein, der zusammengebaut wird, um die Statorelektroden in irgendwelche einer Anzahl von den aufeinanderfolgenden Spannung Zuständen zu legen, jedes, die durch eine Kombination der NIEDRIGEN und HI Spannungshöhen an den einzelnen Statorelektroden definiert werden. Übergang von einem Spannung Zustand zu einem der Reihe nach angrenzenden Spannung Zustand produziert eine Schrittgröße der relativen Bewegung zwischen dem Urheber und dem Stator. Für jeden der aufeinanderfolgenden Spannung Zustände, wird der Treiber weiter zusammengebaut, um die Spannung selektiv zu verändern, die bei einer der Statorelektroden an einer Menge zwischen den NIEDRIGEN und HI Spannungshöhen angewendet wird, um eine proportional kleinere Schrittgröße zu produzieren.
