A method and apparatus for finding contamination occurrence and for
preventing the propagation of the contamination is provided according to
the present invention, which altogether constitutes a contamination
prevention system. The present invention employs a computer for examining
a process flow in order to find out whether a process step is contaminated
by using a contaminated tool and therewith to show a proper representation
on a process flow. Any process flow that passes the contamination
prevention system of the present invention can be free of any
contamination problem. Furthermore, The contamination prevention system
according to the present invention gives a tag for each object. If an
object is tagged "contaminated", then the system forbids the next process
step, that includes uncontaminated tools, to be executed. The present
invention can be built to an automatic system to prevent the propagation
of contamination from occurring.
Μια μέθοδος και μια συσκευή για το περιστατικό μόλυνσης και για την παρεμπόδιση της διάδοσης της μόλυνσης παρέχονται σύμφωνα με την παρούσα εφεύρεση, η οποία αποτελεί συνολικά ένα σύστημα πρόληψης μόλυνσης. Η παρούσα εφεύρεση χρησιμοποιεί έναν υπολογιστή για την εξέταση μιας ροής διαδικασίας προκειμένου να ανακαλυφθεί εάν ένα βήμα διαδικασίας μολύνεται με τη χρησιμοποίηση ενός μολυσμένου εργαλείου και συνεπώς για να παρουσιάσει κατάλληλη αντιπροσώπευση σε μια ροή διαδικασίας. Οποιαδήποτε ροή διαδικασίας που περνά το σύστημα πρόληψης μόλυνσης της παρούσας εφεύρεσης μπορεί να είναι χωρίς οποιοδήποτε πρόβλημα μόλυνσης. Επιπλέον, το σύστημα πρόληψης μόλυνσης σύμφωνα με την παρούσα εφεύρεση δίνει μια ετικέττα για κάθε αντικείμενο. Εάν ένα αντικείμενο κολλιέται "μολυσμένοσ", κατόπιν το σύστημα απαγορεύει το επόμενο βήμα διαδικασίας, που περιλαμβάνει τα μη μολυσμένα εργαλεία, για να εκτελεσθεί. Η παρούσα εφεύρεση μπορεί να χτιστεί σε ένα αυτόματο σύστημα για να αποτρέψει τη διάδοση της μόλυνσης από την εμφάνιση.
