A method for measuring defects includes receiving a defect characteristic
measurement for each measurement site in a first subset of a plurality of
measurement sites on a workpiece. A second subset of the plurality of
measurement sites is defined. The size of the second subset is based on
the defect characteristic measurements of the first subset of the
plurality of measurement sites. A metrology tool is directed to measure
the defect characteristic at each of the measurement site in the second
subset responsive to the size of the second subset being greater than
zero. A system includes a metrology tool and a controller. The metrology
tool is configured to measure a defect characteristic at each of a first
plurality of measurement sites on a workpiece. The controller is
configured to compare the measured defect characteristics at the first
plurality of measurement sites against a first predetermined threshold and
direct the metrology tool to measure the defect characteristic at each of
a second plurality of measurement sites on the workpiece responsive to the
measured defect characteristics being greater than the first predetermined
threshold.
Un metodo per la misurazione dei difetti include la ricezione della misura caratteristica di difetto per ogni luogo di misura in un primo sottoinsieme di una pluralità di luoghi di misura su un pezzo in lavorazione. Un secondo sottoinsieme della pluralità di luoghi di misura è definito. Il formato del secondo sottoinsieme è basato sulle misure caratteristiche di difetto del primo sottoinsieme della pluralità di luoghi di misura. Un attrezzo di metrologia è diretto per misurare il difetto caratteristico a ciascuno del luogo di misura nel secondo sottoinsieme sensible a reagire al formato del secondo sottoinsieme che è più grande di zero. Un sistema include un attrezzo di metrologia e un regolatore. L'attrezzo di metrologia è configurato per misurare un difetto caratteristico a ciascuna di una prima pluralità di luoghi di misura su un pezzo in lavorazione. Il regolatore è configurato per confrontare le caratteristiche misurate di difetto alla prima pluralità di luoghi di misura contro una prima ha predeterminato la soglia e dirige l'attrezzo di metrologia per misurare il difetto caratteristico a ciascuna di una seconda pluralità di luoghi di misura sul pezzo in lavorazione sensible a reagire alle caratteristiche misurate di difetto che sono più grandi della prima soglia predeterminata.
