An optical measurement system for evaluating a reference sample that has at
least a partially known composition. The optical measurement system
includes a reference ellipsometer and at least one non-contact optical
measurement device. The reference ellipsometer includes a light generator,
an analyzer and a detector. The light generator generates a beam of
quasi-monochromatic light having a known wavelength and a known
polarization for interacting with the reference sample. The beam is
directed at a non-normal angle of incidence relative to the reference
sample to interact with the reference sample. The analyzer creates
interference between the S and P polarized components in the light beam
after the light beam has interacted with reference sample. The detector
measures the intensity of the light beam after it has passed through the
analyzer. A processor determines the polarization state of the light beam
entering the analyzer from the intensity measured by the detector, and
determines an optical property of the reference sample based upon the
determined polarization state, the known wavelength of light from the
light generator and the composition of the reference sample. The processor
also operates the optical measurement device to measure an optical
parameter of the reference sample. The processor calibrates the optical
measurement device by comparing the measured optical parameter from the
optical measurement device to the determined optical property from the
reference ellipsometer.
Um sistema ótico da medida para avaliar uma amostra de referência que tenha ao menos uma composição parcialmente sabida. O sistema ótico da medida inclui um ellipsometer da referência e ao menos um dispositivo ótico non-contact da medida. O ellipsometer da referência inclui um gerador claro, um analisador e um detetor. O gerador claro gera um feixe da luz quasi-monocromática que tem um wavelength sabido e um polarization sabido para interagir com a amostra de referência. O feixe é dirigido em um ângulo de incidência non-normal relativo à amostra de referência para interagir com a amostra de referência. O analisador cría a interferência entre o S e os componentes polarizados P no feixe luminoso depois que o feixe luminoso interagiu com a amostra de referência. O detetor mede a intensidade do feixe luminoso depois que passou através do analisador. Um processador determina o estado de polarization do feixe luminoso que entra no analisador da intensidade medida pelo detetor, e determina uma propriedade ótica da amostra de referência baseada no estado de polarization determinado, no wavelength sabido da luz do gerador claro e na composição da amostra de referência. O processador opera também o dispositivo ótico da medida para medir um parâmetro ótico da amostra de referência. O processador calibra o dispositivo ótico da medida comparando o parâmetro ótico medido do dispositivo ótico da medida à propriedade ótica determinada do ellipsometer da referência.
