The present invention provides an apparatus and method for substrate
transport. In systems according to the invention, at least a first and
second chamber are provided. The first chamber may be a load lock and the
second chamber a processing chamber. A substrate transfer shuttle is
provided and is moveable along a linear path defined by guide rollers
between one position in the first chamber and another position in the
second chamber. In this way, the substrate may be transferred, in both a
forward and a reverse direction, between the first chamber and the second
chamber. The substrate transfer shuttle is structured so that a substrate
may be removed therefrom by moving a support in one of the chambers from a
lowered position to an intermediate position, after which the substrate
transfer shuttle may be removed from the chamber.
De onderhavige uitvinding verstrekt apparaten en een methode voor substraatvervoer. In systemen volgens de uitvinding, minstens wordt een eerste en tweede kamer verstrekt. De eerste kamer kan een ladingsslot en de tweede kamer zijn een verwerkingskamer. Een pendel van de substraatoverdracht wordt verstrekt en is beweegbaar langs een lineaire weg die door gidsrollen wordt bepaald tussen één positie in de eerste kamer en een andere positie in de tweede kamer. Op deze wijze, kan het substraat, in zowel een voorwaartse als omgekeerde richting, tussen de eerste kamer en de tweede kamer worden overgebracht. De pendel van de substraatoverdracht is gestructureerd zodat een substraat daarvan kan worden verwijderd door een steun in één van de kamers van een verminderde positie in een middenpositie te bewegen, waarna kan de pendel van de substraatoverdracht uit de kamer worden verwijderd.
