A MEMs structure can include a recess in a substrate, the recess having a
side wall and a floor. A tail portion of a moveable reflector is on the
substrate and extends beyond the side wall of the recess opposite the
recess floor and is configured to rotate into the recess. A head portion
of the moveable reflector extends on the substrate outside the recess.
Une structure de MEMs peut inclure une cavité dans un substrat, la cavité ayant un mur latéral et un plancher. Une partie de queue d'un réflecteur mobile est sur le substrat et se prolonge au delà du mur latéral de la cavité vis-à-vis du plancher de cavité et est configurée pour tourner dans la cavité. Une partie principale du réflecteur mobile se prolonge sur le substrat en dehors de la cavité.
