Magnetic tunnel element and its manufacturing method, thin-film magnetic head, magnetic memory and magnetic sensor

   
   

A magnetic tunnel element (1) including a plurality of ferromagnetic films (5, 9) laminated across an insulating film (11) formed of metal oxide films (6, 7, 8) and in which asymmetric tunnel barriers are formed along the direction in which the ferromagnetic films (5, 9) are laminated by this insulating film (11) (6, 7, 8). There are also constructed a thin-film magnetic head, a magnetic memory and a magnetic sensor, each of which includes the magnetic tunnel element (1). Since a magnetoresistive ratio can be suppressed from being lowered by decreasing a bias voltage dependency, there are provided a highly-reliable magnetic tunnel element which can obtain a high output when the magnetic tunnel element is applied to a thin-film magnetic head and the like and a method of manufacturing such a magnetic tunnel element. When a magnetic head, a magnetic memory and a magnetic sensor include this magnetic tunnel element, they become highly reliable and also become able to obtain a high output.

Um elemento magnético do túnel (1) including um plurality de películas ferromagnetic (5, 9) laminado através de uma película isolando (11) deram forma das películas do óxido de metal (6, 7, 8) e em que barreiras asymmetric do túnel são dadas forma ao longo do sentido em que as películas ferromagnetic (5, 9) são laminados por esta película isolando (11) (6, 7, 8). É construído também uma cabeça magnética thin-film, uma memória magnética e um sensor magnético, cada um de que inclui o elemento magnético do túnel (1). Desde que uma relação magnetoresistive pode ser suprimida de ser abaixado diminuindo uma dependência da tensão diagonal, é fornecido um elemento magnético elevado-de confiança do túnel que possa obter uma saída elevada quando o elemento magnético do túnel é aplicado a uma cabeça magnética thin-film e o gosto e um método de manufaturar um elemento tão magnético do túnel. Quando uma cabeça magnética, uma memória magnética e um sensor magnético incluem este elemento magnético do túnel, torna-se altamente de confiança e torna-se também capaz de obter uma saída elevada.

 
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