A preferred embodiment includes a method for monitoring the performance of
a filter positioned in an airstream in a semiconductor processing system.
The method includes sampling the airstream at a location upstream of the
filter to detect the molecular contaminants present in the airstream;
identifying a target species of the contaminants upstream; selecting a
non-polluting species of a contaminant having a concentration greater than
a concentration of the target species; measuring the non-polluting species
in the airstream at a plurality of locations; and determining the
performance of the filter with respect to the target species from
measurements of the non-polluting species. The plurality of locations
includes a location downstream of the filter and at a location within the
filter. Further, the method for monitoring includes generating a numerical
representation of a chromatogram of the airstream sampled at a location
upstream of the filter. The method for monitoring includes the
non-polluting species having a molecular weight that is lower than that of
the target species. In addition, in the method for monitoring the step of
sampling includes collecting refractory compounds, high molecular weight
compounds and low molecular weight compounds. The filter comprises
absorptive material.
Uma incorporação preferida inclui um método para monitorar o desempenho de um filtro posicionado em uma corrente de ar em um sistema processando do semicondutor. O método inclui provar a corrente de ar em uma posição rio acima do filtro para detectar os contaminadores molecular atuais na corrente de ar; identificando uma espécie do alvo dos contaminadores rio acima; selecionando uma espécie non-polluting de um contaminador que tem uma concentração mais grande do que uma concentração da espécie do alvo; medindo a espécie non-polluting na corrente de ar em um plurality das posições; e determinando o desempenho do filtro com respeito à espécie do alvo das medidas da espécie non-polluting. O plurality das posições inclui uma posição rio abaixo do filtro e em uma posição dentro do filtro. Mais mais, o método para monitorar inclui gerar uma respresentação numérica de um chromatogram da corrente de ar provada em uma posição rio acima do filtro. O método para monitorar inclui a espécie non-polluting que tem um peso molecular que seja mais baixo do que aquele da espécie do alvo. Além, no método para monitorar a etapa da amostragem inclui a coleta de compostos refratários, de compostos elevados do peso molecular e de compostos baixos do peso molecular. O filtro compreende o material absorptive.
