Optical microdevice with rotatable microactuator

   
   

An optical microswitch comprising a support body and first and second output fibers carried by the body. A rotary electrostatic microactuator is carried by the body and extends in a plane. A micromirror is disposed out of the plane. The microactuator has a mirror holder coupled to the micromirror and at least one comb drive assembly coupled to the mirror holder for driving the micromirror about an axis of rotation extending perpendicular to the plane between a first position for reflecting a laser beam to the first output fiber and a second position for reflecting the laser beam to the second output fiber.

Una microconmutador óptica que abarcaba un cuerpo de la ayuda y primero y las segundas fibras de la salida llevaron por el cuerpo. Un microactuator electrostático rotatorio es llevado por el cuerpo y extiende en un plano. Un micromirror se dispone fuera del plano. El microactuator tiene un sostenedor del espejo juntado al micromirror y por lo menos a un conjunto impulsor del peine juntados al sostenedor del espejo para conducir el micromirror sobre un eje del perpendicular que extiende de la rotación al plano entre una primera posición para reflejar un rayo laser a la primera fibra de la salida y una segunda posición para reflejar el rayo laser a la segunda fibra de la salida.

 
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