A method of manufacturing a monolithic ink-jet printhead includes a heating
element which generates bubbles by heating ink is formed on a surface of
the substrate, and a negative photoresist which is coated to a
predetermined thickness on the substrate on which the heating element is
formed. Next, a portion, which forms a sidewall of an ink passage forming
wall surrounding an ink chamber and a restrictor, of the negative
photoresist is flush exposed to light and cured using a first photomask in
which patterns of the ink chamber and the restrictor of the ink passage
are formed. Subsequently, a second portion which forms an upper wall of
the ink passage forming wall of the negative photoresist is exposed to the
light using a second photomask in which the pattern of a nozzle is formed,
and the second portion is exposed to the light by only a predetermined
thickness. Last, an uncured portion of the negative photoresist is
dissolved and removed using solvent. An ink-jet printhead whose elements
are monolithically formed by a simplified process using a single negative
photoresist can be manufactured.
Un metodo di produzione del printhead monolitico del getto di inchiostro include un elemento riscaldante che genera le bolle riscaldando l'inchiostro è formato su una superficie del substrato e su un photoresist negativo che è ricoperto ad uno spessore predeterminato sul substrato su cui l'elemento riscaldante è formato. Dopo, una parte, che forma un muro laterale di un passaggio dell'inchiostro che forma la parete che circonda un alloggiamento dell'inchiostro e un limitatore, del photoresist negativo a livello è esposta a luce e si cura usando un primo photomask in cui i modelli dell'alloggiamento dell'inchiostro e del limitatore del passaggio dell'inchiostro sono formati. Successivamente, una seconda parte che forma una parete superiore del passaggio dell'inchiostro che forma la parete del photoresist negativo è esposta alla luce usando un secondo photomask in cui il modello di un ugello è formato ed alla seconda parte è esposta alla luce soltanto da uno spessore predeterminato. Duri, una parte fresca del photoresist negativo è dissolta e rimossa usando il solvente. Un printhead del getto di inchiostro di cui gli elementi sono costituiti monolitico da un processo semplificato usando un singolo photoresist negativo può essere manufactured.
