The present invention provides a method of testing micro-electrical
mechanical mirrors including simultaneously applying a voltage to each of
a plurality of such mirrors to tilt each of the plurality to a deflection
angle, and simultaneously deflecting a beam from each of the plurality
using an interferometer to simultaneously determine an accuracy of the
deflection angle of each of the plurality. In addition, a method of
manufacturing micro-electrical mechanical mirrors is also disclosed.
La présente invention fournit une méthode d'examiner les miroirs mécaniques micro-électriques comprenant s'appliquer simultanément une tension à chacune d'une pluralité de tels miroirs pour incliner chacune de la pluralité à un angle de débattement, et braquer simultanément un faisceau de chacune de la pluralité à l'aide d'un interféromètre pour déterminer simultanément une exactitude de l'angle de débattement de chacune de la pluralité. En outre, une méthode de fabriquer les miroirs mécaniques micro-électriques est également révélée.
