A magnetic field generator for confining plasma within a vacuum chamber is
disclosed. The magnetic field generator produces a multi-pole magnetic
field around a workpiece positioned within the vacuum chamber. The
magnetic field generator is provided outside the vacuum chamber and
comprises a plurality of segment type permanent magnets circularly
arranged. The magnetic field generator further comprises a plurality of
magnetic members to which the segment type permanent magnets are
selectively attached.
Um gerador do campo magnético para o plasma confinando dentro de uma câmara do vácuo é divulgado. O gerador do campo magnético produz um campo magnético multi-pole em torno de um workpiece posicionado dentro da câmara do vácuo. O gerador do campo magnético é fornecido fora da câmara do vácuo e compreende um plurality do tipo ímãs permanentes do segmento arranjados circular. O gerador do campo magnético mais adicional compreende um plurality dos membros magnéticos a que o tipo ímãs permanentes do segmento é unido seletivamente.
