A method for sealing a fine groove with a siliceous material, characterized
as comprising applying a solution of a perhydropolysilazane having a
weight average molecular weight in the range of 3,000 to 20,000 in terms
of polystyrene to a substrate having at least one groove having a width of
0.2 .mu.m or less at its deepest portion and having a ratio of the
corresponding depth to the width of 2 or more, to thereby fill and seal
the groove with the perhydropolysilazane, and then heating the
perhydropolysilazane in an atmosphere containing water vapor to thereby
convert the perhydropolysilazane to a siliceous material.
Μια μέθοδος για ένα λεπτό αυλάκι με ένα πυριτικό υλικό, που χαρακτηρίζεται όπως περιλαμβάνοντας εφαρμόζοντας μια λύση ενός perhydropolysilazane που έχει ένα μέσο μοριακό βάρος βάρους στη σειρά 3.000 έως 20.000 από την άποψη του πολυστυρολίου σε ένα υπόστρωμα που έχει τουλάχιστον ένα αυλάκι που έχει ένα πλάτος 0,2 μu.μ ή λιγότεροι στη βαθύτερη μερίδα της και που έχει μια αναλογία του αντίστοιχου βάθους στο πλάτος 2 ή περισσότερο, με αυτόν τον τρόπο στην αφθονία και σφραγίζει το αυλάκι με το perhydropolysilazane, και έπειτα τη θέρμανση του perhydropolysilazane σε μια ατμόσφαιρα που περιέχει τον υδρατμό με αυτόν τον τρόπο στο νεοφώτιστο το perhydropolysilazane σε ένα πυριτικό υλικό.
