Germanium-silicon oxide, germanium-silicon oxynitride and
silica-germania-titania materials and oxynitride materials suitable for
fabricating optical waveguides for liquid crystal based cross-connect
optical switching devices have a refractive index of from about 1.48 to
about 1.52 at 1550 nm, and a coefficient of thermal expansion at room
temperature of from about 3.times.10.sup.-6.degree. C..sup.-1 to about
4.4.times.10.sup.-6.degree. C..sup.-1. The compositions are adjusted so
that the refractive index of the germanium-silicon oxide,
germanium-silicon oxynitride or silica-germania-titania material is
closely matched to the refractive index of a typical liquid crystal
material whereby improved optical performance of a liquid crystal based
cross-connect optical switching device is achieved. The coefficient of
thermal expansion of the germanium-silicon oxide, germanium-silicon
oxynitride, or silica-germania-titania material is closely matched to the
coefficient of thermal expansion of silicon, whereby strain induced
birefringence caused by thermal stresses is reduced or avoided.
das Germanium-Silikon Oxid, Germanium-Silikon oxynitride und Silikon-germania-titania Materialien und oxynitride Materialien, die für das Fabrizieren der optischen Wellenleiter für den flüssigen gegründeten Kristall verwendbar sind, Kreuz-schließen optische Schaltung Vorrichtungen haben einen Brechungsindex von von ungefähr 1.48 bis ungefähr 1.52 bei nm 1550 und einen Wärmeausdehnungkoeffizienten bei der Raumtemperatur von von ungefähr 3.times.10.sup.-6.degree an. C..sup.-1 zu ungefähr 4.4.times.10.sup.-6.degree. C..sup.-1. Der Aufbau wird justiert, damit der Brechungsindex des Germanium-Silikon Oxids, des Germanium-Silikon oxynitride oder des Silikon-germania-titania Materials nah zum Brechungsindex eines typischen flüssigen Kristallmaterials zusammengebracht wird, hingegen verbesserte optische Leistung eines flüssigen gegründeten Kristalles optische Schaltung Vorrichtung wird erzielt Kreuz-anschließen. Der Wärmeausdehnungkoeffizient des Germanium-Silikon Oxids, des Germanium-Silikon oxynitride oder des Silikon-germania-titania Materials wird nah zum Wärmeausdehnungkoeffizienten des Silikons zusammengebracht, hingegen Belastung die Doppelbrechung verursacht, die durch thermische Drücke verursacht wird, wird verringert oder vermieden.
