An excimer or molecular fluorine laser system includes a discharge tube
filled with a gas mixture, multiple electrodes within the discharge tube
and connected to a discharge circuit for energizing the gas mixture, a
resonator for generating a laser beam, and at least one window structure
including a first window and a second window. The first window initially
seals the discharge tube and transmits the beam. The second window is
initially unexposed to the gas mixture. The window structure is configured
such that the second window is movable into position for sealing the
discharge tube and transmitting the beam when the first window becomes
contaminated.
Um excimer ou um sistema molecular do laser do fluorine incluem um tubo da descarga enchido com uma mistura do gás, uns elétrodos múltiplos dentro do tubo da descarga e conectado a um circuito da descarga para energizar a mistura do gás, um ressonador para gerar um feixe de laser, e ao menos a uma estrutura da janela including uma primeira janela e uma segunda janela. A primeira janela inicialmente sela o tubo da descarga e transmite o feixe. A segunda janela é inicialmente unexposed à mistura do gás. A estrutura da janela é configurarada tais que a segunda janela é móvel na posição para selar o tubo da descarga e transmitir o feixe quando a primeira janela se torna contaminada.
