The present invention provides a method and a system for a real-time
configurable definition and generation of grating profile libraries. A
parameter set is used to specify the ranges of grating dimensions and
resolutions of the profile library to be generated. In one embodiment, a
compiler creates subsets of a large profile library, the subset designed
to enable rapid search and validation of real-time data. In another
embodiment, an automatic process generates a new parameter set and a new
subset of the library when trigger conditions are met. Subsets of the
profile library may be used to check if grating spectrum data are within
the ranges established for an application and if the dimensions are within
the process averages established for a manufacturing run. The system for
generation of grating profile libraries is scalable, operable in a
distributed environment, and includes application specific items that can
be selected or determined by the client.
La présente invention fournit une méthode et un système pour une définition et une génération configurables en temps réel des bibliothèques discordantes de profil. Un ensemble de paramètre est employé pour indiquer les gammes des dimensions discordantes et des résolutions de la bibliothèque de profil d'être produit. Dans une incorporation, un compilateur crée des sous-ensembles d'une grande bibliothèque de profil, le sous-ensemble conçu pour permettre la recherche et la validation rapides des données en temps réel. Dans une autre incorporation, un processus automatique produit d'un nouvel ensemble de paramètre et d'un nouveau sous-ensemble de la bibliothèque quand des états de déclenchement sont réunis. Des sous-ensembles de la bibliothèque de profil peuvent être employés pour vérifier si les données discordantes de spectre sont dans les marges établies pour une application et si les dimensions sont dans les moyennes de processus établies pour une course de fabrication. Le système pour la génération des bibliothèques discordantes de profil est scalable, fonctionnel dans un environnement distribué, et inclut les articles spécifiques d'application qui peuvent être choisis ou déterminés par le client.
