A system for determining dry cleaning timing, includes: a manufacturing
apparatus configured to process materials assigned by a sequence of lots;
an apparatus controller configured to control the manufacturing apparatus
and obtaining operational conditions of the manufacturing apparatus as
apparatus information; a lot information input terminal configured to
obtain process conditions of one of the lots as lot information; an
apparatus information storage unit configured to store the apparatus
information from the apparatus controller as an apparatus information
database; a lot information storage unit configured to store the lot
information from the lot information input terminal as a lot information
database; and a cleaning determination unit configured to determine timing
to perform a dry cleaning of the manufacturing apparatus based on the
apparatus information database and the lot information database.
Ένα σύστημα για το συγχρονισμό στεγνού καθαρισμού, περιλαμβάνει: μια συσκευή κατασκευής που διαμορφώνεται για να επεξεργαστεί τα υλικά που ορίζονται από μια ακολουθία μερών ένας ελεγκτής συσκευών που διαμορφώνεται για να ελέγξει τις συσκευές κατασκευής και λήψη των συνθηκών λειτουργίας των συσκευών κατασκευής ως πληροφορίες συσκευών πολύς τερματικό εισαγωγής πληροφοριών που διαμορφώνεται για να λάβει τους όρους διαδικασίας ένα από τα μέρη ως πληροφορίες μερών μια μονάδα αποθήκευσης πληροφοριών συσκευών που διαμορφώνεται για να αποθηκεύσει τις πληροφορίες συσκευών από τον ελεγκτή συσκευών ως βάση δεδομένων πληροφοριών συσκευών πολύς μονάδα αποθήκευσης πληροφοριών που διαμορφώνεται για να αποθηκεύσει τις πληροφορίες μερών από το τερματικό εισαγωγής πληροφοριών μερών ως πολύ βάση δεδομένων πληροφοριών και μια καθαρίζοντας μονάδα προσδιορισμού που διαμορφώνεται για να αποφασίσει το συγχρονισμό για να εκτελέσει έναν στεγνό καθαρισμό των συσκευών κατασκευής βασισμένων στη βάση δεδομένων πληροφοριών συσκευών και τη βάση δεδομένων πληροφοριών μερών.
