A sensor is provided for identifying the type of discharge lamp mounted as
the light source of an exposure apparatus, and at least one of an optical
condition, power-source condition and cooling condition is set based upon
the identification made. For example, an optical condition is changed by
adjusting the zoom lens of an illuminating optical unit in dependence upon
the type of discharge lamp. Alternatively, a power-source condition or
discharge-lamp cooling performance is changed by setting the range of
allowable power applied to the discharge lamp.
Un sensor se proporciona para identificar el tipo de lámpara de descarga montado como la fuente de luz de un aparato de exposición, y por lo menos uno de una condición óptica, condición de la energi'a-fuente y condición que se refresca es determinado basado sobre la identificación hecha. Por ejemplo, una condición óptica es cambiada ajustando la lente de zumbido de una unidad óptica que ilumina en dependencia sobre el tipo de lámpara de descarga. Alternativomente, una condición de la energi'a-fuente o un funcionamiento que se refresca de la descargar-la'mpara es cambiada fijando la gama de la energía permisible aplicada a la lámpara de descarga.
