A method and apparatus for monitoring the delivery of a solid precursor
from a vessel to a process chamber via a process gas produced by flowing a
carrier gas into the vessel is provided. The precursor typically changes
state from a solid to a gas (vapor) through a sublimation process within
the chamber. The apparatus comprises a gas analyzer to generate a first
signal indicative of a density of the precursor in the process gas and a
controller. The controller receives the first signal and a second signal
indicative of a volume flow rate of the process gas or the carrier gas and
calculates a mass flow rate and/or a total amount consumed of the
precursor based on the first and second signals. The controller may
calculate an amount precursor remaining in the vessel based on the total
amount consumed and an initial amount. The amount of precursor remaining
in the vessel may be used by an operator to efficiently schedule
replacement or replenishment of the precursor in an effort to minimize
material waste and processing down time.
Une méthode et un appareil pour surveiller la livraison d'un précurseur plein d'un navire à une chambre de processus par l'intermédiaire d'un gaz de processus produit en coulant un gaz porteur dans le navire est fournie. Le précurseur change typiquement l'état d'un solide en gaz (vapeur) par un procédé de sublimation dans la chambre. L'appareil comporte un analyseur de gaz pour produire d'un premier signal indicatif d'une densité du précurseur dans le gaz de processus et un contrôleur. Le contrôleur reçoit le premier signal et un deuxième signal indicatifs d'un taux de débit du gaz de processus ou du gaz porteur et calcule un taux de écoulement de la masse et/ou un montant total consommés du précurseur basé sur les premiers et deuxièmes signaux. Le contrôleur peut calculer un précurseur de quantité restant dans le navire basé sur le montant total consommé et une première quantité. La quantité de précurseur restante dans le navire peut être employée par un opérateur pour programmer efficacement le remplacement ou le remplissage du précurseur dans un effort de réduire au minimum le temps de panne de rebut et traitant de matériel.
