A semiconductor-wafer chuck for heating and cooling a device-under-test
includes a heat-spreader plate with a clamping surface for a semiconductor
wafer. A heater is disposed within the heat-spreader plate. A chiller
heat-exchanger provides for heat removal. A motion control system is used
to move the chiller heat-exchanger in relation to the heat-spreader plate,
and thus provide for an adjustment of the thermal resistance and thermal
coupling between the two. The heater comprises electric heating elements
with a variable power input, and the chiller heat-exchanger is moved
sufficiently far away to prevent boiling and evaporation of a coolant
disposed inside. A device-under-test temperature controller controls the
device-under-test temperature by adjusting the heater power, chiller fluid
temperature and/or by moving the chiller heat-exchanger in relation to the
heat spreader plate.
Un mandrino della semiconduttore-cialda per il heating ed il raffreddamento della dispositivo-sotto-prova include una piastra dello calore-spalmatore con una superficie di pressione per una cialda a semiconduttore. Un riscaldatore è disposto di all'interno della piastra dello calore-spalmatore. Uno calore-scambiatore del refrigeratore provvede a rimozione di calore. Un sistema di controllo di movimento è usato per spostare lo calore-scambiatore del refrigeratore rispetto alla piastra dello calore-spalmatore e così provvede ad una registrazione della resistenza termica e dell'accoppiamento termico fra i due. Il riscaldatore contiene gli elementi riscaldanti elettrici con un input di alimentazione variabile e lo calore-scambiatore del refrigeratore è allontanato sufficiente lontano per evitare l'ebollizione ed evaporazione di un refrigerante disposto di all'interno. Un regolatore di temperatura della dispositivo-sotto-prova controlla la temperatura della dispositivo-sotto-prova registrando l'alimentazione del riscaldatore, temperatura fluida del refrigeratore e/o spostando lo calore-scambiatore del refrigeratore rispetto alla piastra dello spalmatore di calore.
