In one embodiment of the invention, a MEMS structure includes a first
electrode, a second electrode, and a mobile element. The first electrode
is coupled to a first voltage source. The second electrode is coupled to a
second voltage source. The mobile element includes a third electrode
coupled to a third voltage source. A steady voltage difference between the
first electrode and the third electrode is used to tune the natural
frequency of the structure to a scanning frequency of an application. An
oscillating voltage difference between the second electrode and the third
electrode at the scanning frequency of the application is used to
oscillate the mobile element. In one embodiment, the mobile unit is a
mirror.
Dans un mode de réalisation de l'invention, une structure de MEMS inclut une première électrode, une deuxième électrode, et un élément mobile. La première électrode est couplée à une première source de tension. La deuxième électrode est couplée à une deuxième source de tension. L'élément mobile inclut une troisième électrode couplée à une troisième source de tension. Une différence régulière de tension entre la première électrode et la troisième électrode est employée pour accorder la fréquence normale de la structure à une fréquence de balayage d'une application. Une différence d'oscillation de tension entre la deuxième électrode et la troisième électrode à la fréquence de balayage de l'application est employée pour osciller l'élément mobile. Dans une incorporation, l'unité mobile est un miroir.
