Graphic contour extracting method, pattern inspecting method, program and pattern inspecting system

   
   

A graphic contour extracting method includes: acquiring an image of a graphic form to be inspected; defining an inspection region for the image of the graphic form to be inspected by an inspection graphic form including at least one of a circle, an ellipse, a rectangle, a first rectangular graphic form, a second rectangular graphic form and a closed curved graphic form, at least one end of the first rectangular graphic form being replaced with any one of a semi-circle, a semi-ellipse and a parabola, at least one of four corners of the second rectangular graphic form being replaced with a 1/4 circle or a 1/4 ellipse, the closed curved graphic form being expressed by the following expression: ##EQU1## and the inspection graphic form having an edge searching direction previously defined for at least one component thereof; and searching an edge of the graphic form to be inspected on the basis of the inspection graphic form to acquire contour information of the graphic form to be inspected.

Une découpe graphique extrayant la méthode inclut : acquérant une image d'une forme graphique à inspecter ; définissant une région d'inspection pour l'image de la forme graphique à inspecter par une forme graphique d'inspection comprenant au moins une d'un cercle, une ellipse, un rectangle, une première forme graphique rectangulaire, une deuxième forme graphique rectangulaire et une forme graphique incurvée fermée, au moins une extrémité de la première forme graphique rectangulaire étant remplacée avec toute d'un semi-finale-circle, un semi-finale-ellipse et une parabole, au moins un de quatre coins de la deuxième forme graphique rectangulaire étant remplacée avec un cercle de 1/4 ou une ellipse de 1/4, la forme graphique incurvée fermée exprimé par l'expression suivante : ## du ## EQU1 et la forme graphique d'inspection ayant un bord rechercher la direction précédemment définie au moins un composant en ; et recherchant un bord de la forme graphique à inspecter sur la base de la forme graphique d'inspection pour acquérir l'information de découpe de la forme graphique à inspecter.

 
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