An oxygen ion process, Chemical Reactive-Ion Surface Planarization (CRISP),
has been developed which enables planarization of thin film surfaces at
the atomic level. Narrow/broad band filters produced with vacuum deposited
multilayered thin films are designed to selectively reflect/transmit light
at specific wavelengths. The optical performance is limited by the ability
to control the individual layer thickness, the "roughness" of the
individual layer surfaces and the stoichiometry of the layers. The process
described herein will enable reduction of surface roughness at the
interfaces of multilayered thin films to produce atomically smooth
surfaces. The application of this process will result in the production of
notch filters of less than 0.3 nm full width at half maximum (FWHM)
centered at the desired wavelength. This will enable optical filters
designed for telecommunication components such as next generation dense
wavelength division multiplexer (DWDM) systems with significant
performance improvement beyond the state-of-the-art.
Un processo dello ione dell'ossigeno, la superficie chimica Planarization dello Reattivo-Ione (CROCCANTE), è stato sviluppato che permette il planarization delle superfici della pellicola sottile al livello atomico. I filtri della fascia di Narrow/broad hanno prodotto con il vuoto le pellicole sottili multilayered depositate che sono progettate selettivamente alla luce di reflect/transmit alle lunghezze d'onda specifiche. Le prestazioni ottiche sono limitate dalla capacità di controllare lo spessore specifico di strato, "la rugosità" delle superfici di strato dell'individuo e la stechiometria degli strati. Il processo descritto qui permetterà alla riduzione della rugosità di superficie alle interfacce delle pellicole sottili multilayered di produrre le superfici atomico regolari. L'applicazione di questo processo provocherà la produzione dei filtri della tacca di più meno di 0.3 larghezze complete di nm al massimo mezzo (FWHM) concentrato alla lunghezza d'onda voluta. Ciò permetterà i filtri ottici progettati per i componenti di telecomunicazione quali i sistemi densi del multiplexor di divisione di lunghezza d'onda della generazione seguente (DWDM) con miglioramento significativo di prestazioni oltre il dichiarare-of-the-art.
