A phosphor coated waveguide for efficient collection and detection of
back-scattered electrons in an electron beam apparatus such as a scanning
electron microscope is disclosed. The waveguide for directing photons to
an optical detector generally comprises a first waveguide portion having
opposing first and second faces defining a beveled hole therebetween to
allow an electron beam to pass therethrough, the beveled hole decreasing
in cross-sectional size from the first to the second face. A phosphor
coating on the second face around the beveled hole converts the
back-scattered electrons to photons. The first waveguide portion may
include angled faces at an end further from the optical detector. A
surface defined by the beveled hole and/or the angled faces may have a
reflective coating. The waveguide may also include a second waveguide
portion that adjoins and flares out relative to the first waveguide
portion to further increase waveguide efficiency.
Um fósforo revestiu o waveguide para a coleção eficiente e a deteção de elétrons para trás-dispersados em um instrumento do feixe de elétron tal como um microscópio de elétron da exploração é divulgada. O waveguide para dirigir photons a um detetor ótico compreende geralmente uma primeira parcela do waveguide que tem opôr-se primeiramente e as segundas caras que definem um furo chanfrado therebetween para permitir que um feixe de elétron passe therethrough, o furo chanfrado que diminuem no tamanho de seção transversal do primeiro à segunda cara. Um fósforo que reveste na segunda cara em torno do furo chanfrado converte os elétrons para trás-dispersados aos photons. A primeira parcela do waveguide pode incluir as caras angulares em uma extremidade mais mais do detetor ótico. Uma superfície definida pelo furo chanfrado e/ou as caras angulares podem ter um revestimento reflexivo. O waveguide pode também incluir uma segunda parcela do waveguide que seja contíguo com e se alargue para fora relativo à primeira parcela do waveguide à eficiência do waveguide de um aumento mais adicional.
