In an operation of an electron microscope, at least a spot size of an
electron beam on a specimen, an acceleration voltage, a detector type, a
specimen position, and an observation magnification are set as a
predetermined image observation condition and an observation image is
picked up under the predetermined image observation condition. Different
image observation conditions are automatically set based on the
observation image. A plurality of observation images are picked up based
on the setup image observation conditions. The plurality of picked-up
observation images are simultaneously displayed on a second display
section. A desired observation image is selected from among the
observation images displayed on the second display section. The selected
observation image is displayed on a first display section on an enlarged
scale.
In einem Betrieb eines Elektronenmikroskops, mindestens werden eine Punktgröße eines Elektronenstrahls auf einem Probestück, eine Nachbeschleunigungsspannung, eine Detektorart, eine Probestückposition und eine Beobachtung lineare Wiedergabe als vorbestimmter Bildbeobachtung Zustand eingestellt und ein Beobachtung Bild wird unter der vorbestimmten Bildbeobachtung Bedingung aufgehoben. Unterschiedlichen Bildbeobachtung Zuständen werden automatisch basiert auf dem Beobachtung Bild eingestellt. Eine Mehrzahl der Beobachtung Bilder werden herauf gegründet auf den Einstellung Bild-Beobachtung Zuständen ausgewählt. Die Mehrzahl der aufgenommenen Beobachtung Bilder werden gleichzeitig auf einem zweiten Anzeige Abschnitt angezeigt. Ein gewünschtes Beobachtung Bild wird unter von den Beobachtung Bildern vorgewählt, die auf dem zweiten Anzeige Abschnitt angezeigt werden. Das vorgewählte Beobachtung Bild wird auf einem ersten Anzeige Abschnitt auf einer vergrößerten Skala angezeigt.
