An analysis method for analyzing height-scanning interferometry data from a
test surface, the method including: calculating a coherence profile and a
phase profile for the test surface based on the data; calculating an
experimental phase gap map based on a difference between the phase profile
and the coherence profile; filtering the experimental phase gap map to
remove noise; and using the filtered phase gap map to improve an estimate
for a height profile of the test surface.
Eine Analyse Methode für das Analysieren von von Höhe-Abtastung Interferometriedaten von einer Testoberfläche, die Methode einschließlich: Berechnung ein Kohärenzprofil und ein Phase Profil für die Testoberfläche basiert auf den Daten; Berechnung ein experimentelles Phase Abstand Diagramm basiert auf einem Unterschied zwischen dem Phase Profil und dem Kohärenzprofil; Entstörung des experimentellen Phase Abstand Diagramms, um Geräusche zu entfernen; und das gefilterte Phase Abstand Diagramm verwendend, um eine Schätzung für ein Höhe Profil der Testoberfläche zu verbessern.
